SEMI E187は半導体の業界団体SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International:国際半導体製造装置材料協会)が発行した半導体製造装置(ファブ装置)向けサイバーセキュリティの規格です。半導体製造工場向けに装置やサプライヤーを提供する装置のサプライヤーやシステムインテグレーターを対象に、半導体製造装置のセキュリティを設計段階から確保し、運用・保守時にセキュリティ保護をサポートする包括的なサイバーセキュリティの要求事項を定義しています。

対象

半導体製造装置・AMHS(自動搬送装置)

4つの分野の要求事項を定義

  • OS
  • ネットワークセキュリティ
  • エンドポイント保護
  • セキュリティモニタリング
    -Microsoft WindowsまたはLinuxオペレーティングシステムを搭載したファブ装置のコンピュータデバイスに適用
    -PLC、監視制御およびデータ取得(SCADA)のコンピュータデバイス、およびそれらにセンサーアクチュエータネットワークを介して接続されたデバイスは適用外

ビューローベリタスのサービス

ビューローベリタスは以下のサービスを提供します。

  • ヘルスチェック
  • トレーニング
  • ギャップ分析
  • オンサイト監査・オンサイト試験
  • アセスメント・適合性証明書(VoC:Verification of Conformity)発行

ビューローベリタスはSEMI E187が参照する産業システム向けサイバーセキュリティの規格IEC62443の認証も実施しています。詳しくはこちらをご覧ください。

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